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真空镀膜工厂 上虞真空镀膜 金百辰镀膜工艺

更新时间:2023-04-14 14:49:11
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真空镀膜与您分享电子束蒸发

电子束蒸发是将镀膜材料放入水冷铜坩埚中,真空镀膜工厂,用高能密度的电子束轰击镀膜材料而使其蒸发的一种方法。蒸发源由电子发射源、电子加速电源、坩埚(通常是铜坩埚)磁场线圈、冷却水套等组成。在该装置中,被加热的物质放置于水冷的坩埚中,电子束只轰击其中很少的一部分物质,其余的大部分物质在坩埚的冷却作用下一直处于很低的温度,可以看作被击部分的坩埚。因此,电子束加热蒸发的方法可以避免镀膜材料和蒸发源材料之间的污染。

电子束蒸发源的结构形式可以分为直式(布尔斯)、环形(电偏转)和e形(磁偏转)3种。在一个蒸发装置内可以安置一个或者多个坩埚,这可以同时或者分别蒸发沉积多种不同物质。电子束蒸发源有下述优点:

1、电子束轰击蒸发源的束流密度高,能获得远比电阻加热源更大的能量密度,可以蒸发高熔点材料,如w,Mo,A1203等:

2、镀膜材料置于水冷铜坩埚中,真空镀膜工艺,可以避免发源 材料的蒸发,以及两者之间的反应;

3、热量可以直接加到镀膜材料的表面,使得热,热传导和热辐射的损失少.电子束加热蒸发方式的缺点是电子发出的一次电子和镀膜材料表面发出的二次电子会使蒸发原子和残余气体分子电离,这有时候会影响膜层质量。






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真空镀膜与您分享真空镀膜技术性一般分成两大类,即物理学液相堆积(PVD)技术性和有机化学液相堆积(有机化学液相堆积)技术性。物理学液相堆积技术性就是指在真空泵标准下根据各种各样物理方法将电镀材料挥发成分子、分子结构或弱电解质成正离子并将其立即堆积在衬底表层的方式。硬反映膜主要是根据物理学液相堆积制取的。它运用化学物质的热挥发或离子轰击时分子在化学物质表层的磁控溅射等物理学全过程,完成化学物质分子从源化学物质到塑料薄膜的可控性迁移全过程。物理学液相堆积技术性具备膜/底材结合性好、塑料薄膜匀称高密度均、塑料薄膜薄厚可操控性好、运用目标广、磁控溅射覆盖面广、塑料薄膜堆积厚、铝合金塑料薄膜平稳、可重复性好的优势。有机化学液相堆积技术性是将组成塑料薄膜的原素汽体或带有原素的化学物质出示给衬底,并根据液相功效或衬底表层上的化学变化在衬底上制取金属材料或化学物质塑料薄膜的方式。




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